ASML如何成为光刻机龙头的？又为何急于升级 EUV 光刻 ...(1/17)

林本坚当时就职于台积电，他一语就道破了其中的关键，他说：“不就是把光变细吗？经过水折射一下不就细了吗？为什么一定要在空气里传播？”为了压服尼康、佳能等大厂，他写了多篇论文，表示采用水折射的措施能够得到132nm的光线，比157nm更具优势，而且成本更低、难度低、节约资金。后续继续打磨，低于100nm也是能够做到的。但是，尼康过于自豪，不愿意招认自己破费了大量的财力、人力、 ... [查看原文]

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