ASML如何成为光刻机龙头的？又为何急于升级 EUV 光刻 ...(1/17)

经过公式，我们能够知道：增大孔径角2α，也能够增大NA数值。孔径角是物镜光轴上的物体点与物镜前透镜的有效直径所构成的角度。孔径角越大,进入物镜的光通量就越大,它与物镜的有效直径成正比,与焦点的距离成反比。因而增大物镜的直径也能够增大NA数值的，但镜片的直径越大，误差也就越大，打磨镜片的难度也越大。据悉，EUV光刻机的NA数值为0.33，而High-NA EUV 光刻机的NA数值将抵达0.55 ... [查看原文]

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