ASML如何成为光刻机龙头的？又为何急于升级 EUV 光刻 ...(1/17)

当透镜与被检物体孔径角（2α）固定时，增大介质的折射率n，就能够增大NA值。当年林本坚提出用水改动光的折射率，进而制造出更先进的浸润式光刻机，道理就是如此。不同的液体折射率也不相同，例如：水的折射率为1.33，玻璃的折射率为1.5，溴萘的折射率为1.66，因而参与不同的液体，NA值也会随着变更，n为溴苯时，NA值超越了1.4。增大镜片的直径 [查看原文]

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