ASML如何成为光刻机龙头的？又为何急于升级 EUV 光刻 ...(1/17)

NA (NumericalAperture)是数值孔径，是光学镜片的主要技术参数，是判别透镜和聚光镜性能上下的重要标记。计算公式为：NA = n * sin αn：透镜与被检物体之间介质的折射率；α：透镜与被检物体孔径角的半数。在光刻机中，NA的数值直接决议了设备的分辨率，分辨率越高，雕琢的电路图越精密。工艺制程也能够更先进。因而，取得更高的NA值成为了光刻机范畴的必争之地。那么如何才干取得更高的 ... [查看原文]

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