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台积电技术论坛揭露九大趋势：3nm、晶体管新材料、EUV ...(1/25)

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2023-4-18 13:46 740人参与 0条评论 自动播放 开灯

台积电技术论坛揭露九大趋势：3nm、晶体管新材料、EUV ...

秦永沛进一步分析，EUV 导入量产过程中面临许多挑战，其中之一是 EUV 光掩膜制作。台积电自己少数自己有光掩膜厂的半导体厂，日前已成功制造光掩膜薄膜，并拥有高穿透率和稳定品质，预计 2021 年光掩膜薄膜的产能将是 2019 年的 20 倍，以满足大量产的需求。 [查看原文]

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