超越英特尔，追平台积电，三星的芯片制造技术如何得来 ...(1/16)

极紫外光是如何产生的呢？用高能二氧化碳激光，打在直径30微米且垂直下落的金属锡滴上，从而产生一种的等离子体，当波长小于13nm时，就是我们需求的的极紫外光。极紫外光的工作环境必须使真空，由于空气会吸收光源，即便如此它最终的能效也只剩0.2%。光刻机上几百片高清镜头请求极高。 [查看原文]

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