集微咨询:半导体制造业的绿色转型(1/3)

更多
2023-3-4 16:58 175人参与 0条评论 自动播放 开灯

集微咨询:半导体制造业的绿色转型

Source: "GHG Protocol:Technical Guidance for Calculating Emissions"- World Resources Institute● 范畴一(scope 1):主要来自于消费制程或设备之直接排放,半导体厂在晶圆消费中所运用的一些堆积、蚀刻、和机台清洗用的气体即属此类。如包甲烷(CH4)、氧化亚氮(N2O)、氢氟碳化物(HFCs)、全氟化碳(PFCs)、六氟化硫(SF6) 、及三氟化氮(NF3)等气体。● 范畴二(scope 2):主要来自于能 ... [查看原文]

上传图片 点击发表评论 (175人参与 0条评论)