3nm竞争加剧！台积电基本碾压，三星亮出大招(1/7)

于是，在台积电举行3nm量产仪式的大动作后，三星也开端放大招了。近日，据台媒音讯，三星将在3nm工艺中采用透光率超越90%的最新EUV薄膜，用以进步良率。消费薄膜的公司为韩企S&S Tech，三星曾对其注资并取得了8%的股份。该公司是除ASML之外第二家开发出透光率超越90%的EUV薄膜，应三星请求将进步到94%。薄膜能够避免EUV受污染而招致良率性能不佳，三星采用后有助于稳定3nm良率。 [查看原文]

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