中科二期扩建环评过关，台积电2nm厂行将开建

2月9日音讯，攸关台积电2nm厂的中部科学园区台中园区扩建二期开发计划，于昨（8）日经过环评大会检查，预估产值可达新台币5,014亿元（约合人民币1,130.9亿元），将提供4,500个就业机遇。这意味着台积电2nm厂行将启动。

据悉，环保署昨日召开环评大会，其中一案为中科二期扩建案。中科二期希望引进半导体产业，维持中国台湾半导体全球抢先位置，据悉，台积电2nm厂将进驻，此案受高度关注，历经三次专案小组检查后，去年底经过环评初审，昨日再于环评大会闯关胜利，顺利经过环评最后一关。

依据国科会中科管理局资料，中科二期扩建开发面积从原本94.62公顷，缩减至89.75公顷，但绿空中积“不打折”，维持原本的12.99公顷。

用水量方面，原本规划为10万CMD（吨／每日），随著面积缩减，略降至95,565 CMD，并承诺除民生用水外，终期100%再生水，全区用水回收率84%，并自设再生水处置设备，终期可产制2万CMD再生水。

用电方面，原规划总用电量975MW（百万瓦），也调降至925MW，并承诺进驻半导体厂商每年取得25%再生能源，2050年运用100%再生能源。

对此，台积电昨日表示“乐见其成”，并强调将秉持一向的承诺的经过气候与能源、水管理、资源循环及空气污染防制等面向，以细致作为理论绿色制造。

据了解，台积电2nm厂分鉴别计划在竹科宝山、中科设厂。台积电董事长刘德音去年底在3nm量产仪式上特别指出，目前准备中的2nm晶圆厂，分别落址新竹与中部科学园区， 共计六期的工程皆依计划持续停顿中。

台积电总裁魏哲家日前在今年1月法说会上也提及，台积电2nm进度比原先预期来得好，维持风险试产2024年、量产2025年的规划，目前停顿良好。

资料显现，台积电去年进入2nm N2制程技术的开发阶段，着重于测试载具设计与实作、光罩制造及硅试产等，主要停顿在于提升基础制程设定、晶体管与导线性能。在光刻技术部份，台积电研发组织藉由提升晶圆良率抵达牢靠影像以支持3nm试产，并提升极紫外光（EUV）的应用、降低资料缺陷与促进平整化的才干，以支持2nm技术的开发。

在此前的2022年台积电技术论坛上，台积电也首度发布了其下一代先进制程N2（即2nm制程）的部分技术指标：相较于其N3E（3nm的低成本版）工艺，在相同功耗下，台积电2nm工艺的性能将提升10~15%；而在相同性能下，台积电2nm工艺的功耗将降低23~30%；晶体管密度仅提升了10%。

编辑：芯智讯-林子